熱反射式激光共聚焦顯微鏡可用來觀察樣品表面亞微米級別的三維輪廓形貌, 也可以測量多種微幾何尺寸, 像晶粒度、體積、膜深、膜厚、深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等。激光共聚焦相比于其他測量手段有其*的優(yōu)勢, 它提高了圖片的清晰度, 有很好的景深, 提高了分辨率, 可以進(jìn)行無接觸的三維輪廓測試。在金屬材料研發(fā)方面還經(jīng)常用到光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡。光學(xué)顯微鏡是一種二維的形態(tài)學(xué)工具, 有效分辨率較低, 分辨率的景深較小, 也不能觀察縱向方向的三維形態(tài)。而掃描電鏡在樣品的制備方面比較復(fù)雜, 有時(shí)還會引起樣品的破壞, 對于掃描的面積和材料的表面高度都有所限制, 同時(shí)它也不能測量面積、體積、深度等信息。在鋼鐵材料的生產(chǎn)和開發(fā)過程中, 眾多的環(huán)節(jié)需要關(guān)注表面形貌, 采用激光共聚焦顯微鏡技術(shù)進(jìn)行相應(yīng)檢測, 不僅可以獲得媲美SEM的顯微圖像, 同時(shí)還能夠進(jìn)行快速、無損測量, 加之其較低的引入和維護(hù)成本,更符合目前行業(yè)成本控制的需求。
 

　　熱反射式激光共聚焦顯微鏡由于其優(yōu)于光學(xué)顯微鏡的清晰度和分辨率, 使其在金相組織觀察方面有*的優(yōu)勢。試驗(yàn)樣品為海洋平臺用鋼, 將樣品進(jìn)行磨制、拋光處理, 并用腐蝕溶液腐蝕, 要求觀察并測量基體上粒狀貝氏體的形態(tài)和尺寸。相比于普通光學(xué)顯微鏡, 激光共聚焦顯微鏡清晰度好, 分辨率高。激光作為光源, 它的單色性非常好, 光束的波長相同, 從根本上消除了色差。共聚焦顯微鏡中在物鏡的焦平面上放置了一個(gè)帶有針孔的擋板, 將焦平面以外的雜散光擋住, 從而消除了球差。同時(shí)激光共聚焦顯微鏡采取的點(diǎn)掃描技術(shù)和計(jì)算機(jī)采集和處理信號也進(jìn)一步提高了圖像的清晰度。