激光三維表面輪廓儀是一種用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的測(cè)量計(jì)量設(shè)備。它不僅可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

　　1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度、波紋度、表面結(jié)構(gòu)、缺陷分析、晶粒分析等。

　　2、二維圖像分析：距離、半徑、斜率、網(wǎng)格、等高線等。

　　3、表面界面測(cè)量：透明表面形貌、膜厚、透明膜下表面。

　　4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量。

　　5、劃痕形態(tài)、摩擦磨損深度、寬度和體積的定量測(cè)量。

　　6、微電子表面分析和MEMS表征。

　　激光三維表面輪廓儀的主要特點(diǎn)：

　　高精度縱向分辨率：0.1nm（接觸式）；2nm（光學(xué)非接觸式）對(duì)周圍環(huán)境和光源的適應(yīng)性強(qiáng)，無(wú)機(jī)械過(guò)濾，垂直測(cè)量范圍寬，光學(xué)頭和接觸式多種選擇，縱向掃描范圍300-3900μm。圖像“拼接"技術(shù)可以在一張圖像中呈現(xiàn)任何大表面。適用于幾乎所有表面，垂直臺(tái)階，縱橫比，凸起，孔洞，脆性材料，軟材料，柔性材料表面，尖銳，堅(jiān)硬，磨損的表面，適應(yīng)性強(qiáng)，白色光源，人性化安全設(shè)計(jì)，長(zhǎng)壽命白色led免維護(hù)，可用于各種環(huán)境甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室。

　　激光三維表面輪廓儀的掃描范圍從10μmX10μm到500μmX500μm。樣品臺(tái)掃描采用高級(jí)光學(xué)參考平臺(tái)，可以使遠(yuǎn)距離掃描范圍達(dá)到50mm。在掃描過(guò)程中，可以直接結(jié)合彩色光學(xué)相機(jī)對(duì)樣品進(jìn)行觀察。針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，具有寬測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍（zui高達(dá)500）μm）和亞納米垂直分辨率（zui小0.1nm），軟件設(shè)置恒定微力接觸（0.1至100[Mg])。