激光三維表面輪廓儀是一種用于各種精密器件和材料表面亞納米測量的測試儀器，基于白光干涉技術原理，結合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，對器件表面進行非接觸式掃描，建立表面3D圖像，通過對器件表面3D圖像進行處理和分析。系統(tǒng)軟件，獲取反映器件表面質量的2D和3D參數(shù)，實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量，可廣泛應用于半導體制造與封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納米材料與制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)，以及航空航天、國防以及軍工、科研院所等領域?？蓽y量從超光滑到粗糙，低反射率到高反射率，從納米到微米的各種工件表面的粗糙度、平面度、微觀幾何輪廓、曲率等。

　　1、具有3D輪廓重建和各類樣品表面微觀形貌測量功能；

　　2、具有表面粗糙度和微觀輪廓檢測功能，粗糙度范圍從0.1nm到幾十微米；

　　3、具有校平、去形、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

　　4、具有粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

　　5、自動對焦、自動??測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動功能；

　　6、具有一鍵分析、多文件分析等快速批量分析功能。

　　激光三維表面輪廓儀3D激光掃描頭可以在任何類型的物體表面采集數(shù)百萬個精確點數(shù)據(jù)，從啞光黑色表面到高反射表面，甚至碳纖維表面，無需任何特殊預處理。是一種先進的、應用廣泛的非接觸式3D激光掃描核心設備。具有適用性廣、掃描范圍大、精度高、速度快、性價比高等特點。

　　在CF4激光共焦傳感器中，被照亮的小孔在被測表面上成像。激光束通過物鏡快速上下移動并聚焦在被測物體上。只有當焦平面與真實表面上的點配對時，探測器才會記錄表面信號。因此，物鏡必須移動一個小的垂直步長，以便通過位移傳感器的位置移動來測量信號。根據(jù)特殊的插值技術，系統(tǒng)精度可達10納米以下。

　　激光三維表面輪廓儀的應用：

　　?1、集成電路封裝和表面貼裝：快速獲取封裝翹曲、引線共面度、粗糙度、焊錫量和引線輪廓。

　　?2、厚膜混合電路：自動測量膜厚。

　　?3、精密零件：測量精密五金配件、塑料、半導體材料的輪廓和粗糙度。