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共聚焦熱反射式顯微鏡

簡要描述:CTRM750 熱反射式顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司專門為半導(dǎo)體研究等所專門研發(fā)的一款顯微鏡。整合了共聚焦和熱反射式模塊,在測量樣品表面3D輪廓同時可以測量樣品表面的實際熱量分布。

  • 產(chǎn)品型號:CTRM750
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-01-12
  • 訪  問  量:399

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域化工,石油,電子,航天

CTRM750 熱反射式顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司專門為半導(dǎo)體研究等所專門研發(fā)的一款顯微鏡。整合了共聚焦和熱反射式模塊,在測量樣品表面3D輪廓同時可以測量樣品表面的實際熱量分布。其熱反射式模塊采用熱反射式的原理,搜集目標(biāo)樣品亮度隨溫度的變化值,并且利用函數(shù)得到熱反射系數(shù)(κ), 將熱反射系數(shù)(κ)輸入系統(tǒng)中進(jìn)行測量就可以得到目標(biāo)樣品熱分布圖像的實際溫度值。  

共聚焦熱反射式顯微鏡

Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):

1.    高分辨無損傷光學(xué)3D測量

2.       實時共聚焦成像

3.       多種光學(xué)變焦

4.       自動傾斜補償

5.        雙Z軸掃描

6.        緊湊的模塊尺寸

7.        放式的模塊

8.         操作簡單

主要功能:

共聚焦模塊

1.    3D 輪廓測量

    在共聚焦模式下,設(shè)置Z方向的測量范圍,可以獲得樣品表面高清晰的3D 輪廓圖像,并且可以分析樣品在不同溫度下表面膨脹數(shù)據(jù)

2.    實時共聚焦成像

  通過Live模式,可以導(dǎo)出樣品實時的共聚焦Video.

熱反射成像模塊

1.       Synchronous

    在Synchronous模式下時,此方法通過匹配信號源的周期和相機的測量時序來獲取熱反射圖像

2.       ASynchronous

  在Asynchronous模式下時,此方式下信號源的生成周期與相機測量無關(guān)。以此方式測量的圖像隨后通過單獨的TRMeter 獲得熱分布圖像。

TRViewer(軟件):

共聚焦熱反射式顯微鏡


Transient thermal imaging (瞬態(tài)成像)

共聚焦熱反射式顯微鏡

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

共聚焦熱反射式顯微鏡

共聚焦熱反射式顯微鏡

Specifications(參數(shù)):

模塊

物鏡

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距離

34.0

33.5

20.0

13.0

NA

0.14

0.28

0.42

0.55

共聚焦視野范圍

Horizontal(um)

2800

1400

700

280

Vertical(um)

2100

1050

525

210

熱反射視野范圍

Horizontal(um)

1330

655

332

133

Vertical(um)

1330

655

332

133

光源(脈沖LED)

基礎(chǔ)波長

430,455,505,530,565,590, 617, 625, 660, 700, 730 nm (12 wavelength)

輸出功率

120 ~ 3000 mW (wavelength dependent)

圖像傳感器

Scientific CMOS

Active imaging pixels

2048x2048 pixel

Active thermal imaging pixels

1024x1024 pixel

空間分辨率 (橫向)

0.5 um

熱分辨率

1?C

熱反射成像模式

Steady state (Asynchronous FFT, 4-Bucket) Transient

瞬態(tài)模式下的時間分辨率

50 nsec ~ 1 msec

電加熱盤

加熱范圍

RT to 110?C

加熱/冷卻速率

· 2min. to heat from RT to 90?C
· 5min. to cool from 90?C to RT

X,Y,Z 載物臺

行程范圍: 18x18x14mm

電動Z 載物臺

行程范圍: 60mm

X,Y載物臺用于掃描頭移動

行程范圍: 13x13mm

PC

電壓

100 to 240 VAC, 50/60 Hz

電流

500W Max












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地址:中華人民共和國上海市虹口區(qū)寶山路778號
郵箱:info@nanoscope.net.cn
傳真:86-21-60852363
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