CTRM750 熱反射式顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司專門為半導(dǎo)體研究等所專門研發(fā)的一款顯微鏡。整合了共聚焦和熱反射式模塊，在測(cè)量樣品表面3D輪廓同時(shí)可以測(cè)量樣品表面的實(shí)際熱量分布。其熱反射式模塊采用熱反射式的原理，搜集目標(biāo)樣品亮度隨溫度的變化值，并且利用函數(shù)得到熱反射系數(shù)（κ）， 將熱反射系數(shù)（κ）輸入系統(tǒng)中進(jìn)行測(cè)量就可以得到目標(biāo)樣品熱分布圖像的實(shí)際溫度值。  

Features & Benefits（性能及優(yōu)勢(shì)）：

1.    高分辨無損傷光學(xué)3D測(cè)量

2.       實(shí)時(shí)共聚焦成像

3.       多種光學(xué)變焦

4.       自動(dòng)傾斜補(bǔ)償

5.        雙Z軸掃描

6.        緊湊的模塊尺寸

7.        放式的模塊

8.         操作簡單

主要功能：

共聚焦模塊

1.    3D 輪廓測(cè)量

    在共聚焦模式下，設(shè)置Z方向的測(cè)量范圍，可以獲得樣品表面高清晰的3D 輪廓圖像,并且可以分析樣品在不同溫度下表面膨脹數(shù)據(jù)。

2.    實(shí)時(shí)共聚焦成像

  通過Live模式，可以導(dǎo)出樣品實(shí)時(shí)的共聚焦Video.

熱反射成像模塊

1.       Synchronous

    在Synchronous模式下時(shí),此方法通過匹配信號(hào)源的周期和相機(jī)的測(cè)量時(shí)序來獲取熱反射圖像

2.       ASynchronous

  在Asynchronous模式下時(shí)，此方式下信號(hào)源的生成周期與相機(jī)測(cè)量無關(guān)。以此方式測(cè)量的圖像隨后通過單獨(dú)的TRMeter 獲得熱分布圖像。

TRViewer（軟件）：

Transient thermal imaging (瞬態(tài)成像)

Application field(應(yīng)用領(lǐng)域）：

Specifications（參數(shù)）：